实用新型已授权

一种摆动式卡匣结构

📄 申请号：CN202421371561.8 📄 发布日：2026/06/16

著录项目信息

申请日

2024-06-17

公开号

CN223304342U

公开日

2025-09-05

申请人

黄石惠晶显示科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C03C15_00

IPC 分类号

C03C15_00

技术画像

所属领域

自动化传输设备自动化传输设备摆动机构卡匣结构

应用场景

半导体制造, 液晶面板制造, 自动化生产线, 物料搬运

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摘要

本实用新型公开了一种摆动式卡匣结构，包括摆动式卡匣结构主体，所述摆动式卡匣结构主体包括外框架与玻璃体，所述外框架的截面为长方形结构；通过设计摆动机构，可以将玻璃体固定在卡匣主体的内部进行蚀刻时，外框架在前后移动时，利用外框架移动的惯性，将转轴体在转轴套的内部转动使得卡匣主体与玻璃体绕转轴体摆动一定的角度，且在摆动时角度处于正30°与负30°之间，不易造成摆动幅度较大产生碰撞损坏，且卡匣带动玻璃体绕转轴体摆动时，使得玻璃体表面喷入的蚀刻液产生平均化，避免玻璃体表面垂直液流的分布的差异造成竖向蚀刻不均匀条纹缺陷的问题，提高摆动式卡匣结构将玻璃体蚀刻时对蚀刻液流动的均匀性与蚀刻加工处理效果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

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