实用新型已授权

一种表面电荷自动测量机

📄 申请号：CN202221854361.9 📄 发布日：2026/06/15

著录项目信息

申请日

2022-07-04

公开号

CN217981662U

公开日

2022-12-06

申请人

武汉固瑞得科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G01R29_24

IPC 分类号

G01R29_24 , G01R1_04 , G01R29_12 , G01B5_02 ,

技术画像

所属领域

自动测量电荷测量静电测量表面分析仪器自动测量

应用场景

材料检测, 半导体制造, 静电防护, 科研实验, 产品质量控制

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摘要

本实用新型提出了一种表面电荷自动测量机，在放电机构与检测头之间，设置有由滑轨、滑座和支撑板组成的直线位移机构，以带动绝缘件进行移动，从而方便快速的将注入电荷的绝缘件移动至检测头下；其次本装置中的检测头通过十字滑台进行驱动，十字滑台为伺服丝杆移动平台，其具有检测线路可编程、可带动检测头移动实现工件表面全覆盖检测、结构紧凑的优点，且不会干涉到绝缘件、测量电极等组件的调整；本装置还设置有两个限位夹具和两个限位板，用于绝缘件S在注入电荷和检测时，对承载绝缘件S的直线位移机构进行限位，以避免十字滑台运行产生的轻微振动影响检测，从而提高检测精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种铆钉淬火设备的多工位循环装置

当前第 / 件

一种冷链物流周转箱

同领域国内专利 · IPC: (G01R29_24)

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