发明专利已授权

芯片处理机构、芯片检测装置及其控制方法

📄 申请号：CN201910370862.6 📄 发布日：2026/06/03

著录项目信息

申请日

2019-05-06

公开号

CN110244068B

公开日

2024-10-29

申请人

珠海意动智能装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N35_00

IPC 分类号

G01N35_00 , G01N35_10 , B08B3_10 ,

技术画像

所属领域

检测装置芯片检测半导体设备自动控制系统控制方法检测装置

应用场景

芯片测试, 半导体制造, 集成电路检测, 芯片分选, 晶圆检测

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摘要

本发明提供一种芯片处理机构、芯片检测装置及其控制方法，包括支架和吹气组件，支架设置有芯片测试位，吹气组件包括两个气管，第一气管设置有第一出气口，第二气管设置有第二出气口，第一出气口和第二出气口分别位于芯片测试位相对的两侧上，第一出气口的第一出气方向与第二出气口的第二出气方向呈相互错开设置，第一出气口和第二出气口均朝向芯片测试位且呈相对布置。通过位于相对两侧的第一气管和第二气管，且出气方向相互错开以及出气口相对，吹气时位于芯片测试位上的处理液在气体的驱动力作用下，呈旋涡地流动起来，只要保持气管的气体输出就能使处理液能够长时间在芯片测试位流动，从而可以提高清洁效果、反应效果以及反应稳定性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：125 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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