发明专利已授权

一种旋转角度可控的气浮平台运输装置及控制方法

📄 申请号：CN202010085879.X 📄 发布日：2026/05/25

著录项目信息

申请日

2020-02-11

公开号

CN111285117B

公开日

2020-09-01

申请人

江苏科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B65G54_00

IPC 分类号

B65G54_00

技术画像

所属领域

控制方法气浮平台精密运动控制自动化运输设备运输装置控制方法

应用场景

半导体制造, 精密仪器搬运, 无尘车间物流, 自动化生产线, 平板显示制造

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摘要

本发明公开了一种旋转角度可控的气浮平台运输装置，包括第一台面、第二台面和气浮平台上层板和气浮平台下层板，第一台面上安装有一对第一支撑，在第一支撑上安装有第一转轴，第一转轴上同时套有第二支撑，第二支撑固定在第二台面上，在第一台面上安装有第一可升降装置，第一可升降装置的一端与第二台面铰接；在气浮平台上层板的侧面均匀安装有若干个位置传感器，所述第一可升降装置、第二可升降装置和位置传感器均与控制器信号连接。本发明通过对气浮平台倾角的控制，能够实现快速驱动，同时防止物件滑落；将旋转角度可控的气浮平台搭载于水平导轨滑台或机械臂上，易于实现物件的大范围无接触运输。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种无接触倾角可控式输运平台及控制方法

当前第 / 件

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