发明专利 已授权

一种基于层状倾斜ITO纳米棒阵列的可见光高透过的中红外吸波器件及其制备方法

📄 申请号:CN202010321081.0 📄 发布日:2026/05/19

著录项目信息

申请日
2020-04-22
公开号
CN111479458B
公开日
2022-04-08
申请人
江苏师范大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

红外隐身, 辐射制冷, 红外探测, 光学窗口, 智能玻璃

摘要

本发明公开了一种基于层状倾斜ITO纳米棒阵列的可见光高透过的中红外吸波器件及其制备方法。该器件由自下而上依次叠加排列的三层倾斜的ITO纳米棒阵列构成,三层ITO纳米棒的倾斜角自下而上分别为14.6°、28.2°、45.8°,三层ITO纳米棒的半径自下而上依次减小,其中每层ITO纳米棒阵列厚度为200nm,每层ITO纳米棒阵列均呈六方晶格排列;通过电子束蒸发镀膜系统,在洁净的衬底上通过三个不同沉积角分别沉积ITO,样品退火后获得层状倾斜ITO纳米棒阵列结构。本发明制备的器件具有可见光波段的高透过率以及3‑5μm波段的高吸收率,可应用于窗口类隐身材料或相关器件领域,制备工艺简单,制备的器件面积大,易于大规模生产。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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