实用新型已授权

静电吸盘

📄 申请号：CN202121077413.1 📄 发布日：2026/05/08

著录项目信息

申请日

2021-05-19

公开号

CN214837554U

公开日

2021-11-23

申请人

曲面超精密光电(深圳)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16B1_00

IPC 分类号

F16B1_00

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备静电吸附技术晶圆夹持装置

应用场景

半导体晶圆加工, 芯片制造, 平板显示制造, 光伏电池制造, 集成电路封装

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摘要

本实用新型涉及曲面玻璃固定治具技术领域，具体揭示了静电吸盘，包括下治具和上治具，下治具的内部为空心结构，上治具可拆卸插接固定于上治具的顶部，下治具的顶部呈外凸的圆弧状，上治具的底部呈内凹的圆弧状，上治具底部的形状结构与下治具底部的形状结构相契合，上治具的底部与下治具的顶部贴合，上治具顶部的中央贴合固定有静电吸盘；本实用新型能够在静电发生器的作用下瞬间产生强大吸力，可以达到快速、安全且有效固定好曲面玻璃盖板的目的，代替了传统通过真空泵或空气流量发生器对曲面玻璃进行固定的工作方式，操作起来省时省力，并且不会产生噪音。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种张力控制装置

当前第 / 件

一种曲面全贴合设备中旋转滚轮装置

同领域国内专利 · IPC: (F16B1_00)

F16B1_00 F16B1_02 F16B1_04 F16B11_00 F16B12_00 F16B12_02 F16B12_10 F16B12_12 F16B12_14 F16B12_44 F16B12_50 F16B12_54 F16B13_00 F16B13_04 F16B13_06 F16B13_10 F16B13_12 F16B15_00 F16B15_02 F16B15_06 F16B15_08 F16B17_00 F16B19_00 F16B19_02 F16B19_04 F16B19_08 F16B19_10 F16B19_14 覆盖28个领域

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