发明专利已授权

一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法

📄 申请号：CN201810186946.X 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2018-03-07

公开号

CN108490011B

公开日

2020-08-14

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N23_20008

IPC 分类号

G01N23_20008 , G01N23_20058 , G01N23_20 , G01N23_2055 ,

技术画像

所属领域

透射电子显微术透射电子显微术样品制备技术显微分析技术

应用场景

材料科学研究, 半导体失效分析, 纳米材料表征, 金属材料分析, 电子显微镜检测

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摘要

一种透射电镜块体样品已检测区域的定位方法，通过对透射电镜块体样品薄区孔的记录，来测量透射电镜块体样品再检测时相对第一检测时的旋转角度，求出第二次检测时透射电镜块体样品坐标系相对第一次检测时样品坐标系的旋转矩阵，进而根据第一次检测时特征区域的样品台坐标X、Y、Z、α、β来计算第二次检测的新坐标，可快速找到这些特征区域，实现使用透射电镜对同一特征区域进行数据补充，也可用于确保样品在不同透射电镜下检测同一特征区域。本发明具有以下优点：不需要添加硬件设备，操作简单，易行；而且计算简单，易于编程实现，可作为透射电子显微镜精确分析的辅助工具。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：82 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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