发明专利已授权

一种电控变焦的片上集成超透镜

📄 申请号：CN202310622053.6 📄 发布日：2026/05/07

著录项目信息

申请日

2023-05-30

公开号

CN116540377A

公开日

2023-08-04

申请人

燕山大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B7_02

IPC 分类号

G02B7_02 , G02B3_00 , G02B7_00 , G02B7_04 , G02B27_00 , H05B3_00 , G02F1_01 , G02B27_09 ,

技术画像

所属领域

微纳光学微纳光学超表面光学集成光学

应用场景

消费电子, 光通信, 医疗内窥镜, 增强现实, 激光雷达

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摘要

本发明提供了一种电控变焦的片上集成超透镜，属于光电子器件与集成技术领域，包括基于槽型波导阵列的超透镜结构和基于金属电阻的电控加热器结构；其中，所述基于槽型波导阵列的超透镜结构用于实现片上光束聚焦，所述基于金属电阻线的电控加热器结构通过设计电阻线的几何形状来精准控制波导的温度，从而实现波导局部有效折射率的调控，最终通过对加热器施加不同电功率来实现聚焦光束的前后移动。本发明仅需两个加热器即可实现片上聚焦光束的变焦功能，显著减少电极数量，电控方案简单，且该方案与标准硅光子工艺平台完全兼容，有望集成应用于波束整形、片上交换开关网络和可重构光子集成系统。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

FTIR结合CARS-ELM的SF6分解物检测方法

当前第 / 件

一种大尺寸薄板防折皱双面对碾装置及方法

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