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发明专利
已授权
一种基于EBSD花样推测模糊菊池带宽度的方法
📄 申请号:CN202110650762.6
📄 发布日:2026/05/13
著录项目信息
申请日
2021-06-11
公开号
CN113376192B
公开日
2023-11-10
申请人
华东交通大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01N23_203
IPC 分类号
G01N23_203
,
G01N23_20058
,
技术画像
所属领域
电子显微分析
电子显微分析
晶体取向表征
衍射图像处理
应用场景
材料表征, 金属材料晶粒分析, 半导体材料检测, 矿物鉴定, 失效分析
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摘要
本发明提供一种基于EBSD花样推测模糊菊池带宽度的方法,包括以下步骤:S1:在扫描电子显微镜SEM上采集晶体样品的电子背散射衍射EBSD花样,识别其中清晰菊池带,得出菊池带对应的晶体倒易矢量,同时确定模糊菊池带的迹线;S2:取三个同一带轴的倒易矢量,利用最小二乘法进行二维网格的拟合,判断各矢量终点与网格节点的偏差情况;S3:另取一条同一带轴的倒易矢量,其方向由迹线和信号源确定,根据菊池带灰度分布图和EBSD花样衍射衬度,确定其终点可能位置,考虑新确定矢量重新拟合二维网格;S4:重复上述步骤至各矢量终点与新得到的网络节点偏差小或者重合。本发明提供的基于EBSD花样推测模糊菊池带宽度的方法可以解决EBSD花样中模糊菊池带宽度难以确定的问题,推测结果误差小,推测过程速度快。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
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