发明专利 已授权

一种软/硬磨料固结丸片研磨盘及其制备方法

📄 申请号:CN202210093763.X 📄 发布日:2026/09/04

著录项目信息

申请日
2022-01-26
公开号
CN114367927A
公开日
2022-04-19
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

精密磨削, 表面抛光, 半导体加工, 光学元件加工, 金属加工

摘要

本发明公开了一种软/硬磨料固结丸片研磨盘,包括金属基体盘和树脂基固结丸片,树脂基固结丸片包括软磨料固结丸片和硬磨料固结丸片;固结丸片排列在费马螺旋线上,且在同一条费马螺旋线上两种丸片以1:1比例均匀交替排布,其中软磨料固结丸片的硬度高于硬磨料固结丸片。本发明还提供了上述研磨盘的制备方法。本发明的研磨盘兼顾软磨料精密加工与硬磨料高效去除的特性,且软、硬磨料固结丸片之间轨迹匹配程度高、分布均匀性好,大幅提升反应层的动态迭代速度,提高研磨效率,同时研磨质量得到了有效保证。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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