发明专利 已授权

一种基于光强梯度数的自动对焦测量方法

📄 申请号:CN202210821316.1 📄 发布日:2026/05/07

著录项目信息

申请日
2022-07-13
公开号
CN115128762B
公开日
2023-05-05
申请人
华侨大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

工业检测, 精密测量, 机器视觉, 显微成像, 半导体制造

摘要

本发明提出了一种基于光强梯度数的自动对焦测量方法,利用了PSF函数的图像特性并用拟合函数进行了拟合,对不同离焦量下的光点图像利用拟合函数进行拟合,并求一阶导函数;将一阶导函数的极值做差,可得到离焦量—导函数极值差的函数曲线;将离焦量—导函数极值差的函数曲线,利用拟合函数进行拟合;得到标定好的离焦量—导函数极值差函数,通过找寻不同离焦量下所拟合高斯函数存在一阶导函数极值差存在差异的特性,绘制出离焦量—一阶导函数极值差的函数曲线,提高了对焦的精准性,并实现了快速对焦,同时也提高了普适性。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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