实用新型 已授权

一种真空计在线校准装置

📄 申请号:CN202320224968.7 📄 发布日:2026/04/24

著录项目信息

申请日
2023-02-16
公开号
CN219532372U
公开日
2023-08-15
申请人
上海熠阳实业有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 计量检测, 科研实验, 航天测试

摘要

本实用新型属于真空计技术领域,且公开了一种真空计在线校准装置,包括箱体,所述箱体两侧顶部的内壁均活动安装有通风板,所述箱体的内壁固定安装有位于通风板两侧下方的固定杆,固定杆的外表面活动套接有活动板,活动板内侧的顶部均固定安装有位于通风板内壁的卡块。本实用新型通过设置齿牙板、齿轮和螺纹杆,转动螺纹杆,使得螺纹杆的内端脱离箱体的内壁,解除对旋钮的固定效果,然后可以转动旋钮,使得连接轴带动齿轮发生旋转,进而可以带动两个齿牙板、固定杆和卡块发生相背运动,使得卡块脱离通风板的内壁,进而可以解除对通风板的固定作用,最终操作人员可以扣动扣槽的位置将通风板从箱体的内壁扣取出进行清洗处理。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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