实用新型已授权

一种分子泵滤芯的清洗装置

📄 申请号：CN202320224973.8 📄 发布日：2026/04/24

著录项目信息

申请日

2023-02-16

公开号

CN219317278U

公开日

2023-07-07

申请人

上海熠阳实业有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F04D29_70

IPC 分类号

F04D29_70 , F04D29_00 , F04D19_04 ,

技术画像

所属领域

真空设备真空设备滤芯清洗分子泵维护

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 科研实验, 光伏生产

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摘要

本实用新型属于清洗设备技术领域，且公开了一种分子泵滤芯的清洗装置，包括箱体，所述箱体两侧内壁的顶部之间活动安装有横管，所述横管的右端贯穿箱体并延伸至箱体的右端，所述横管的底端开设有喷孔。本实用新型通过设置横管、喷孔、第一气缸、齿板和第一齿轮，通过启动水泵，可以使得进水口抽取外部的水源，然后经出水口输送至横管的内部，最后通过喷孔喷出，通过启动第一气缸，可以使得齿板向上或向下运动，由于齿板的外表面与第一齿轮的外表面啮合连接，因此齿板的运动将会带动第一齿轮发生转动，从而使得横管带动喷孔发生转动，最终实现了便于调节清洗角度的效果，从而可以对滤芯边缘角落的灰尘污垢进行着重清洗。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种具有防尘结构的检漏仪

当前第 / 件

一种电路板进行灰尘清理设备

同领域国内专利 · IPC: (F04D29_70)

F04D29_00 F04D29_02 F04D29_04 F04D29_041 F04D29_043 F04D29_044 F04D29_046 F04D29_049 F04D29_05 F04D29_051 F04D29_053 F04D29_054 F04D29_056 F04D29_057 F04D29_06 F04D29_08 F04D29_10 F04D29_12 F04D29_16 F04D29_18 F04D29_20 F04D29_22 F04D29_24 F04D29_26 F04D29_28 F04D29_30 F04D29_32 F04D29_34 F04D29_36 F04D29_38 F04D29_40 F04D29_42 F04D29_44 F04D29_46 F04D29_52 F04D29_54 F04D29_56 F04D29_58 F04D29_60 F04D29_62 F04D29_64 F04D29_66 F04D29_68 F04D29_70 覆盖44个领域

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