发明专利已授权

一种微纳牛级力计量器的制造方法

📄 申请号：CN202110665356.7 📄 发布日：2026/08/17

著录项目信息

申请日

2021-06-16

申请人

江南大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B82B3_00

IPC 分类号

B82B3_00 , B82Y30_00 , B82Y40_00 , G01L5_00 ,

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

微纳制造, 精密测量, 力学性能测试, 科研实验, 半导体制造

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摘要

本发明公开了一种微纳牛级力计量器的制造方法，涉及微纳制造技术领域，该方法包括：获取原始石墨烯材料；确定剪裁图形，利用纳米尺度下的剪纸技术在原始石墨烯材料上进行剪裁；获取剪裁后石墨烯材料的应力应变曲线；根据应力应变曲线，由胡克定律可知线弹性阶段为剪裁后石墨烯材料的量程；调整剪裁的几何参数，重新执行利用纳米尺度下的剪纸技术在原始石墨烯材料上进行剪裁，进一步调整剪裁后石墨烯材料的量程与精度，得到相应的微纳牛级力计量器。采用石墨烯材料作为制造微纳牛级力计量器的原材料，满足了微纳米尺度下器件力学性能的检测，该力计量器可应用于纳米尺度下器件在加工、装配等制造工序中的管理与监测。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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