实用新型 已授权

一种探针台用探针卡托盘装置

📄 申请号:CN202320924470.1 📄 发布日:2026/08/17

著录项目信息

申请日
2023-04-23
公开号
CN220084942U
公开日
2023-11-24
申请人
西安千月电子科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

半导体测试, 晶圆检测, 芯片测试, 集成电路制造

摘要

本实用新型涉及半导体检测领域,公开了一种探针台用探针卡托盘装置,包括底板,所述底板顶端的两端均固定设置有固定块,两个所述固定块的顶端均开设有滑槽,两个所述滑槽的内部均固定设置有滑块,两个所述滑块的顶端固定设置有连接板,所述连接板的顶端固定设置有托盘。本实用新型中,通过在两个固定块的顶端均开设有滑槽,在两个滑槽的内部均固定设置有滑块,在两个滑块的顶端固定设置有连接板,在连接板的顶端固定设置有托盘,可以将托盘通过连接块底端固定设置的滑块在滑槽内进行移动大大增强了托盘的灵活性。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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