发明专利已授权

一种中频交流辉光清洗电源

📄 申请号：CN201711157954.3 📄 发布日：2026/08/10

著录项目信息

申请日

2017-11-20

公开号

CN107999469B

公开日

2021-04-27

申请人

安徽晓星能源科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B7_00

IPC 分类号

B08B7_00

技术画像

所属领域

电力电子技术电力电子技术等离子体技术表面处理技术

应用场景

半导体制造中的晶圆清洗；光学镜片表面处理；真空镀膜前基材清洗；医疗器械表面清洁

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摘要

本发明公开了一种中频交流辉光清洗电源，涉及电控清洗技术装置领域。本发明中：装置外壳的内侧设置有线圈绕组；线圈绕组的内侧设置有静电层板；静电层板内部为内腔结构；装置外壳的端侧固定连接有侧基板结构；侧基板的靠内腔侧设置有第一调节杆、第二调节杆和若干放电电极；侧基板的另一侧装设有伸缩装置；第一调节杆的一端与伸缩装置相连，第一调节杆的另一端与第二调节杆相连。本发明通过绕组调控装置对线圈绕组进行调控，从而根据工件清理需求进行相应的频率调整操作，从而使得工件清理效果更佳；同时通过放电电极结构，对内腔内进行辉光放电操作，从而便于对特殊工件装置进行相应的电轰清洗操作。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种供电室母线槽

当前第 / 件

金属条定位送料夹紧装置

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¥10500.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：7 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 天津勤熠信息科技有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 27件好评率 98.5%

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