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专利详情
实用新型
已授权
一种高真空烘烤设备干燥模块
📄 申请号:CN202420605896.5
📄 发布日:2026/03/26
著录项目信息
申请日
2024-03-27
公开号
CN221992229U
公开日
2024-11-12
申请人
广东康度仕新能源科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F26B5_04
IPC 分类号
F26B5_04
,
F26B9_06
,
F26B25_00
,
F26B25_18
,
技术画像
所属领域
真空干燥设备
真空干燥设备
热处理装置
真空腔体
应用场景
半导体制造, 显示面板制造, 真空镀膜, 电子元器件干燥, 科研实验
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摘要
本实用新型涉及烘烤设备技术领域,具体是指一种高真空烘烤设备干燥模块,包括高真空烤箱和升降设于高真空烘烤箱内腔中的轨道架,所述轨道架上抽拉滑动有物料托盘,同时所述高真空烤箱顶壁设置有固定罩,固定罩在轨道架推动物料托盘上移时与物料托盘顶口对接,形成密封腔室,将物料密封罩设,固定罩内安装有冷却机,同时固定罩底口开合设置有封堵板机构,封堵板机构在物料托盘远离固定罩时将固定罩底口遮挡封堵,并在物料托盘上移靠近对接时开启,冷却时冷却空气不会溢出,缩短冷却时间,并避免将高真空烤箱内壁和其他部件降温,造成下次需要升温的时间较长的问题。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种电缆接头熔接加热装置
当前第 / 件
一种高真空烘烤设备上料模块
同领域国内专利 · IPC: (F26B5_04)
F26B5_00
F26B5_04
F26B5_06
F26B5_08
F26B5_10
F26B5_12
F26B5_14
F26B5_16
覆盖
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