实用新型 已授权

一种高真空烘烤设备干燥模块

📄 申请号:CN202420605896.5 📄 发布日:2026/03/26

著录项目信息

申请日
2024-03-27
公开号
CN221992229U
公开日
2024-11-12
申请人
广东康度仕新能源科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 显示面板制造, 真空镀膜, 电子元器件干燥, 科研实验

摘要

本实用新型涉及烘烤设备技术领域,具体是指一种高真空烘烤设备干燥模块,包括高真空烤箱和升降设于高真空烘烤箱内腔中的轨道架,所述轨道架上抽拉滑动有物料托盘,同时所述高真空烤箱顶壁设置有固定罩,固定罩在轨道架推动物料托盘上移时与物料托盘顶口对接,形成密封腔室,将物料密封罩设,固定罩内安装有冷却机,同时固定罩底口开合设置有封堵板机构,封堵板机构在物料托盘远离固定罩时将固定罩底口遮挡封堵,并在物料托盘上移靠近对接时开启,冷却时冷却空气不会溢出,缩短冷却时间,并避免将高真空烤箱内壁和其他部件降温,造成下次需要升温的时间较长的问题。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (F26B5_04)

议价
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:129 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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