发明专利 已授权

一种碳纤维坩埚锅帮保护装置

📄 申请号:CN202210619362.3 📄 发布日:2026/07/28

著录项目信息

申请日
2022-06-02
公开号
CN115218658A
公开日
2022-10-21
申请人
江苏鑫帆新材料科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

晶体生长炉, 高温热场, 光伏材料制备, 半导体制造, 碳纤维坩埚保护

摘要

本发明涉及坩埚加热技术领域,具体涉及一种碳纤维坩埚锅帮保护装置。包括外筒、坩埚、若干红外加热环以及若干反射环,坩埚可转动地设置于外筒的内部,红外加热环位于坩埚的外侧且沿竖直方向均匀间隔设置,反射环的内环面具有椭圆弧反射凹面,椭圆弧反射凹面与红外加热环一一对应地设置于红外加热环的外侧。本发明中通过反射环的上下移动,以改变椭圆弧反射凹面与红外加热环的相对位置,进而在椭圆弧反射凹面和红外加热环的相对位置发生改变后,改变椭圆弧反射凹面的反射路径,以至少使红外加热环外侧的热量被反射到坩埚的外壁上未正对红外加热环的区域,能源利用率高,坩埚受热均匀。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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