实用新型 已授权

一种大通道冷阱

📄 申请号:CN202320121032.1 📄 发布日:2026/07/09

著录项目信息

申请日
2023-02-06
公开号
CN219110872U
公开日
2023-06-02
申请人
山东博文科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 科研实验, 化工尾气处理, 低温工程

摘要

本实用新型公开的属于冷阱技术领域,具体为一种大通道冷阱,包括冷阱,所述冷阱内设置有冷冻剂和弯曲管道,所述弯曲管道由若干个U形管拼接而成;所述弯曲管道的左端通过第一接头连接进气管,所述进气管的一端连接进气泵,所述进气泵的输入端连接有抽气管,本实用新型的有益效果是:通过设置多个U形管拼接成的弯曲管道,有效地延长了气体流道长度,使得气体能够被充分液化,使得熔点高的气体和熔点低的气体之间分离更加彻底;通过设置循环机构,能够将随液体一起排出的气体重新导入弯曲管道,从而对气体进行重新液化分离处理,从而使得分离更加彻底。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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