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发明专利
已授权
一种基于飞秒激光刻写螺旋型波导的光纤振动传感器
📄 申请号:CN202011222124.6
📄 发布日:2026/07/31
著录项目信息
申请日
2020-11-05
公开号
CN112212966B
公开日
2022-09-13
申请人
中国计量大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
G01H9_00
IPC 分类号
G01H9_00
技术画像
所属领域
振动传感器
光纤传感
飞秒激光微加工
光波导器件
传感器
振动传感器
应用场景
结构健康监测, 工业设备振动监测, 航空航天结构监测, 桥梁隧道监测, 精密制造过程监测
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摘要
本发明提供了一种基于飞秒激光刻写螺旋型波导的光纤振动传感器,包括单波长激光器、传感头、光电探测器、示波器,其特征为:所述传感头为单模‑无芯‑单模的三明治结构,由飞秒激光在无芯光纤内刻写螺旋波导制成。波导共有五部分:水平直线波导、直径均匀递增的螺旋波导、直径均匀的螺旋波导、直径均匀递减的螺旋波导、水平直线波导。本发明利用强度解调的方法,将光信号转化为电信号,当振动时,输出光强发生周期性的变化,即电压值发生周期性变化,对输出的电压值进行傅里叶变换,得到振动频率,从而实现对振动频率的传感测量。本发明具有结构坚固、体积小、制备简单、成本低、抗电磁干扰、灵敏度高、测量范围广等优点。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种基于飞秒激光刻写FBG的锥形光纤流速传感器
当前第 / 件
一种光纤内衍射光栅阵列及其制作方法
同领域国内专利 · IPC: (G01H9_00)
G01H9_00
覆盖
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委托待转让
📌 交易状态:
在售
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未申报
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