发明专利 已授权

氯硅烷的碳总量检测方法以及系统

📄 申请号:CN202311685557.9 📄 发布日:2026/09/30

著录项目信息

申请日
2023-12-11
公开号
CN117589922B
公开日
2024-11-29
申请人
六安职业技术学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

所属领域

应用场景

多晶硅生产, 半导体材料, 光伏产业, 化工分析

摘要

本发明公布了氯硅烷的碳总量检测方法以及系统,涉及化学品检测技术领域,检测系统内包括气体发生室,气体发生室内设置有燃烧区域,燃烧区域内布置有用于容纳氯硅烷原料的容置组件,容置组件包括中心导轴、位于顶端的顶部容置架以及设置于顶部容置架下端部的底层容置架,顶部容置架以及底层容置架均包括由横截面呈Z形结构的承托基体绕中心导轴旋转一周获得的承托实体,将氯硅烷原料导入至容置组件上,容置组件能够利用热能产生的推力,对顶部容置架产生推动,并且火焰以及高温气体还可以通过顶部容置架、底层容置架之间的间隙对氯硅烷原料进行燃烧,实现原料的充分燃烧。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (G01N31_12)

议价
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:22 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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