发明专利已授权

一种集成电路板加工用清洁装置及其方法

📄 申请号：CN202510723311.9 📄 发布日：2026/05/25

著录项目信息

申请日

2025-05-30

公开号

CN120532810B

公开日

2026-01-13

申请人

超乾电子(珠海)有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B08B5_02

IPC 分类号

B08B5_02 , H05K3_26 , B08B15_04 , B08B7_02 , B01D46_10 , B01D46_681 ,

技术画像

所属领域

集成电路板半导体清洗设备集成电路制造工艺表面清洁技术清洁装置电路板加工集成电路板

应用场景

集成电路板生产, 半导体芯片制造, 电子元器件清洁, PCB制造, 精密表面处理

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摘要

本发明涉及集成电路板加工的技术领域，尤其涉及一种集成电路板加工用清洁装置及其方法，其包括清洁机构，包括清洁部件、支撑板、固定部件、定位部件和多个电路板，所述支撑板设置于清洁部件的内部，所述固定部件设置于支撑板的顶部，通过固定部件的更换便于一次性更换多个电路板，通过清洁部件可以对多个电路板进行清洁，并将吹走的灰尘等漂浮物收集，通过定位部件可以使多个电路板在升降部件的升降过程稳定移动，升降的同时通过振动部件对多个电路板振动，破坏灰尘的附着力，且可以使清理部件对过滤板清理，并被收集件收集，升降过程还可以通过第一调节部件使气流以一定角度冲击电路板表面，并通过第二调节部件的改变吸尘。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种建筑水泥砂浆生产用滤沙装置

当前第 / 件

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