实用新型 已授权

一种真空台板排水装置

📄 申请号:CN202223403204.9 📄 发布日:2026/07/31

著录项目信息

申请日
2022-12-19
公开号
CN219240752U
公开日
2023-06-23
申请人
南通二轻精密装备有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 光伏组件生产, PCB加工, 精密机械加工, 平板显示制造

摘要

本实用新型涉及排水装置技术领域,且公开了一种真空台板排水装置,包括台板,所述台板左侧前方设置有第一真空通道,且所述第一真空通道与所述台板相连接,所述第一真空通道内侧设置有冷凝器,且所述第一真空通道与所述冷凝器相连接,所述第一真空通道内侧贯穿设置有第一冷却管道,且所述第一冷却管道与所述第一真空通道相连接;台板两边设计有真空通道,通道内设有冷却装置,通道的一端与真空系统连接,实现台板内真空工作的完成,在真空通道出口处加有自动排水装置,该装置在台板不进行真空的时候自动将通道内的污水排出,当台板在进行抽真空的时候处于关闭状态且有储水功能,从而确保污水不进入真空系统,得到保护真空系统及不生产新的污染物。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (E03F1_00)

E03F1_00 E03F11_00 覆盖2个领域
¥1850.0
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:13 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 已报项目

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