发明专利已授权

基于后向反射器剪切干涉的准直波前测量方法

📄 申请号：CN201910384304.5 📄 发布日：2026/05/08

著录项目信息

申请日

2019-05-09

公开号

CN110196105B

公开日

2021-04-02

申请人

南京理工大学紫金学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01J9_02

IPC 分类号

G01J9_02

技术画像

所属领域

干涉测量干涉测量光学精密测量波前检测

应用场景

光学元件检测, 激光准直测量, 精密光学仪器, 光刻技术, 光学制造

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摘要

本发明公开了一种基于后向反射器剪切干涉的准直波前测量方法,该方法中待测准直波前分别经过楔形平板的前后两个表面反射，通过后向反射器返回后在CCD上形成剪切干涉条纹。采用四步相移法求解干涉条纹的相位分布，相位步进量定为设定可调谐激光器的波长步进以实现移相量的标定。采集四幅相位间隔为π/2的干涉图，得到剪切干涉条纹的光程差分布，根据剪切量的大小分别采用积分法或待定系数法测量准直波前。本发明简化了传统测量准直波前的横向剪切干涉装置，提高了波面测量精度，特别适合于测量波长调谐系统的出射波前。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种采用双向负压原理送料的锂电池盖帽组装机

当前第 / 件

带隔热轴的磁流体密封轴

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