发明专利 已授权

等离子体活性粒子与绝缘材料表面作用的仿真方法

📄 申请号:CN202210009851.7 📄 发布日:2026/02/06

著录项目信息

申请日
2022-01-05
公开号
CN114758730B
公开日
2024-08-16
申请人
西安理工大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

电力设备绝缘, 等离子体处理, 材料表面改性, 高压电气

摘要

本发明公开一种等离子体活性粒子与绝缘材料表面作用的仿真方法,包括:步骤1,建立等离子体的二维流体模型,获得作用到绝缘材料的活性粒子的种类和组分;步骤2,通过步骤1得到的活性粒子的种类和组分建立等离子体与绝缘材料表面作用的反应分子动力学模型,并选择ReaxFF力场来计算等离子体与绝缘材料的化学反应机理;步骤3,将等离子体与绝缘材料表面作用的反应分子动力学模型在NVT系综下重复运行,计算等离子体处理前后绝缘材料的相对介电常数,通过相对介电常数判断绝缘材料积聚表面电荷的性能。本发明解决了现有技术中存在的等离子体与绝缘材料表面作用的物理化学过程难以数据化的问题。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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G16C10_00 覆盖1个领域

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