实用新型已授权

一种硅片加工周转运输工

📄 申请号：CN202520125660.6 📄 发布日：2026/04/28

著录项目信息

申请日

2025-01-20

公开号

CN223237679U

公开日

2025-08-19

申请人

安徽晶天新能源科技有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B62B3_02

IPC 分类号

B62B3_02 , B62B3_04 , B62B5_00 ,

技术画像

所属领域

晶圆传输设备晶圆传输设备半导体工装夹具硅片加工辅助设备

应用场景

半导体制造, 硅片加工, 晶圆周转, 集成电路生产, 晶圆搬运

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摘要

本实用新型涉及运输工装领域，尤其涉及一种硅片加工周转运输工装，包括有周转盒和分隔放置模组；周转盒内侧设有用于根据硅片尺寸情况进行调节并方便硅片进行稳固放置的分隔放置模组；本实用新型通过分隔放置模组根据硅片尺寸情况进行调节，接着将硅片依次放置于周转盒中，通过设置可调节的分隔放置结构，能够根据硅片的尺寸和数量进行灵活调整，确保硅片在运输过程中紧密排列，减少空隙，从而提高了运输效率，并且可以为硅片提供更加稳固的支撑和固定，减少硅片在运输过程中的晃动和碰撞，有效保护硅片免受损坏。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种机械电气设备制造用钻孔装置

当前第 / 件

一种环保材料加工设备

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