实用新型已授权

一种硅片表面污染清洗装置

📄 申请号：CN202520048478.5 📄 发布日：2025/12/29

著录项目信息

申请日

2025-01-09

公开号

CN223405526U

公开日

2025-10-03

申请人

安徽晶天新能源科技有限责任公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_10

IPC 分类号

B08B3_10 , B08B3_12 , B08B13_00 , F26B21_00 ,

技术画像

所属领域

清洗装置半导体制造表面清洗技术清洗装置

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 集成电路制造

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摘要

本实用新型涉及清洗装置领域，尤其涉及一种硅片表面污染清洗装置，包括有底板；底板的上端左部固接有清洗箱，清洗箱的上端为开口状。本实用新型通过将圆形的硅片从上向下穿过第二槽体并放置在两个托块的上端，使得圆形硅片的下端被两个托块的上端支撑，同时圆形的硅片的前后两端会与第二槽体内壁的前后两端贴合，实现对圆形硅片的限位，然后将安装块放置在第一槽体的内壁，此时固定块的下端和第一U型板的下端内壁贴合，就可以将一排安装块放置在一排第一槽体的内壁，底板内本身设有可以浸没圆形硅片的清洗液，然后开启搅拌组件可以对清洗箱内的水溶液进行搅拌，开启换能器可以对浸没在清洗箱内的圆形硅片进行超声波清洗。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种园林绿化用树干冬季防寒装置

当前第 / 件

一种机械电气设备制造用钻孔装置

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