实用新型已授权

一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置

📄 申请号：CN202322639199.X 📄 发布日：2025/12/26

著录项目信息

申请日

2023-09-27

公开号

CN221063872U

公开日

2024-06-04

申请人

江苏迈睿科半导体科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B15_04

IPC 分类号

B08B15_04

技术画像

所属领域

半导体湿法清洗设备半导体湿法清洗设备废气抽风系统风量调节装置

应用场景

半导体晶圆清洗, 集成电路制造, 湿法刻蚀工艺, 超净车间废气排放, 半导体设备制造

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摘要

本实用新型涉及半导体的湿法清洗技术领域，尤其为一种半导体湿法清洗设备的可调节抽风装置，包括外壳体、卡合槽和卡合块，所述外壳体外侧左端设有卡合槽，所述外壳体外侧右端固定连接卡合块，所述外壳体顶部中间位置设有通风口，所述外壳体顶部通过通风口固定连接第一连接管，所述第一连接管顶部固定连接软连接管，所述软连接管后端固定连接第二连接管，本实用新型中，通过设置的液压杆、滑动杆和调节板，可以在不同的清洗环节中，根据实际需要调节控制器和电路线控制液压杆进行伸缩，即可带动滑动杆前后滑动，通过多个调节板的同步移动可以使抽风口和调节板交错，即可调节抽风口的有效使用面积，从而对抽风量大小进行调节。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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