发明专利已授权

EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法

📄 申请号：CN202010973484.3 📄 发布日：2026/05/25

著录项目信息

申请日

2020-09-16

公开号

CN112198184B

公开日

2022-04-22

申请人

天津市昊宁科技服务有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N23_2252

IPC 分类号

G01N23_2252 , G01N23_2202 ,

技术画像

所属领域

材料分析检测材料分析检测电子探针显微分析高纯金属材料

应用场景

半导体溅射靶材, 高纯铝靶材质量控制, 材料成分分析, 表面元素分布表征

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摘要

本发明涉及一种EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，包括以下步骤：步骤1、采用酸液对高纯铝试样进行酸洗；步骤2、酸洗后高纯铝试样进行清洗并干燥；步骤3、干燥后高纯铝试样进行镶嵌；步骤4、镶嵌后高纯铝试样进行抛光处理；步骤5、抛光后试样进行EPMA观察和检测，应用Mapping分析功能对铟元素的含量和分布进行分析。本发明的分析方法简便、快速和准确，可克服已有成分检测技术具备的缺点，检测试样重复使用率高，不受外界引入其它杂质元素的干扰；不但可以检测出需检测元素含量，同时可通过面分析（Mapping Analysis）分析元素的分布位置，能够有效指导酸洗工艺的制定和实施。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241018

?? 专利权的转移：

20220422

✅ 授权

20210126

?? 实质审查的生效：

20210108

📄 公开

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