发明专利已授权

EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法

Name: EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布的分析方法
Brand: 天津市昊宁科技服务有限公司
SKU: 2020109734843
Price: 9500.0 CNY
Availability: InStock

📄 申请号：CN202010973484.3 📄 发布日：2026/09/23

著录项目信息

申请日

2020-09-16

公开号

CN112198184B

公开日

2022-04-22

申请人

天津市昊宁科技服务有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01N23_2252

IPC 分类号

G01N23_2252 , G01N23_2202 ,

技术画像

所属领域

材料分析技术材料分析技术半导体材料制备表面处理技术电子材料检测

应用场景

半导体薄膜沉积用溅射靶材的纯度控制与表面处理效果评估；高纯材料中痕量杂质元素的分布检测；靶材生产工艺优化与质量监控

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摘要

本发明涉及一种EPMA检测高纯铝靶材酸洗后铟元素含量及分布区域的分析方法，包括以下步骤：步骤1、采用酸液对高纯铝试样进行酸洗；步骤2、酸洗后高纯铝试样进行清洗并干燥；步骤3、干燥后高纯铝试样进行镶嵌；步骤4、镶嵌后高纯铝试样进行抛光处理；步骤5、抛光后试样进行EPMA观察和检测，应用Mapping分析功能对铟元素的含量和分布进行分析。本发明的分析方法简便、快速和准确，可克服已有成分检测技术具备的缺点，检测试样重复使用率高，不受外界引入其它杂质元素的干扰；不但可以检测出需检测元素含量，同时可通过面分析（Mapping Analysis）分析元素的分布位置，能够有效指导酸洗工艺的制定和实施。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN112198184B

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为 9500.0 元，不含过户费。支持议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241018

?? 专利权的转移：

20220422

✅ 授权

20210126

?? 实质审查的生效：

20210108

📄 公开

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