发明专利 已授权

一种利用形变力反馈检测真空容器泄漏的仪器及其检测方法

📄 申请号:CN202410851161.5 📄 发布日:2025/12/17

著录项目信息

申请日
2024-06-28
公开号
CN118641129B
公开日
2025-02-14
申请人
浙江铁犀智能科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 真空镀膜, 工业泄漏检测, 密封性测试, 科研实验

摘要

本发明属于水杯制造技术领域,尤其涉及一种利用形变力反馈检测真空容器泄漏的仪器及其检测方法,仪器包括机座,机座上设置有安置座、下压组件和压力传感器。所述安置座用于安置待测容器;所述下压组件设置在安置座上方,下压组件能靠近安置座压向安置座上的容器或者远离安置座;所述压力传感器设置在下压组件朝向安置座的端部,压力传感器用于检测下压组件下压至容器时容器的变形抵抗力。本仪器无另外加热能耗,能耗低,检测方式简单,且测量结果可靠。

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:141 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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