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一种新型光纤F-P腔传感器件的制备方法

📄 申请号：CN201810784443.2 📄 发布日：2026/08/17

著录项目信息

申请日

2018-07-17

公开号

CN108981810A

公开日

2018-12-11

申请人

西安石油大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01D21_02

IPC 分类号

G01D21_02

技术画像

所属领域

其他分类其他

应用场景

光纤传感, 温度测量, 应变测量, 油气监测, 医疗器械

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摘要

一种新型光纤F-P腔传感器件的制备方法，包括以下步骤；取一段光纤，剥掉涂覆层后得到一段裸光纤，用酒精清洗，用光纤切刀将裸光纤沿中间切断；将光纤固定在载玻片上，并将载玻片放在三维精密微位移台上，调节三维微位移平台使激光光斑聚焦位置与裸光纤端面重合，然后沿光纤轴向向外移动微位移平台使光斑聚焦位置距离裸光纤端面；调节准分子激光器的脉冲频率，打开准分子激光器，加压，关闭激光器，制作出的传感器；在距顶端处得到一个正方形的微孔，用氢氟酸溶液清洗孔内杂质，制成了一个关于压强、温度和液体折射率同时测量的传感器。本发明制作的传感器尖端结构强大、体积小、制造简单、成本较低，对温度、压强和折射率都有较好的测量精度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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