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发明专利
已授权
一种窄深沟槽清理装置
📄 申请号:CN202010241293.8
📄 发布日:2026/04/10
著录项目信息
申请日
2020-03-31
申请人
徐州领测半导体科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
E02F5_28
IPC 分类号
E02F5_28
,
E02F7_02
,
技术画像
所属领域
精密加工设备
精密加工设备
表面清理设备
自动控制系统
应用场景
半导体制造, 精密机械加工, 微电子器件, 模具清理, 工业自动化
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摘要
本发明涉及一种窄深沟槽清理装置;其解决的技术方案包括支撑架,支撑架的前后两侧各设有两个既可自转又可前后滑动的竖轴,四个竖轴成矩形分布,每个竖轴的上下两端各固定有一个第一转轮,支撑架中间的左右两侧各设有一个轴线水平前后方向的链轮,两个链轮之间经链条固定连接,链条的前后端面上各对称固定连接有多组间隔布置的挤压单元,每个竖轴的外侧设有一个竖板,竖板宽度大于挤压单元长度,每个竖板的上下两端均设有一个固定在支撑架上的伸缩杆,竖板可在伸缩杆的伸出端部左右滑动,每个竖板的右侧设有两个固定在支撑架上的支撑杆,竖板与支撑杆之间经第一拉簧连接,支撑架的右侧固定有一个开口朝上的U形刮板,框架的上方设有一个传送带。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20211231
✅ 授权
20211231
⏳ 专利申请权的转移 :
20200710
?? 实质审查的生效 :
20200616
📄 公开
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委托待转让
📌 交易状态:
在售
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📋 项目申报:
未申报
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权属尽调
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