实用新型已授权

一种超高真空法兰的精密密封槽结构

📄 申请号：CN202423302704.2 📄 发布日：2025/12/06

著录项目信息

申请日

2024-12-31

公开号

CN223708888U

公开日

2025-12-23

申请人

晶格(苏州)真空技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16L23_024

IPC 分类号

F16L23_024 , F16L23_18 ,

技术画像

所属领域

真空密封技术真空密封技术法兰连接结构精密机械结构

应用场景

超高真空设备, 半导体制造设备, 真空镀膜设备, 科研仪器设备, 粒子加速器

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摘要

本实用新型涉及超高真空法兰技术领域，提供一种超高真空法兰的精密密封槽结构，包括第一连接管和密封结构，所述第一连接管的底端安装有第二连接管，所述第一连接管和第二连接管的一端均固定有安装结构，所述第一连接管和第二连接管的内部均设置有密封结构。本实用新型通过设置有密封结构，通过卡块卡入卡槽的内部将密封圈进行固定，同时使得抵紧块在伸缩弹簧的弹力作用下对密封圈进行压紧，从而提高了密封圈在密封槽内部的紧密性，使得密封效果更好，进一步提高了整体的密封性能。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种高强度可拆卸真空法兰

当前第 / 件

一种耐高温真空法兰

同领域国内专利 · IPC: (F16L23_024)

F16L23_00 F16L23_02 F16L23_024 F16L23_032 F16L23_036 F16L23_04 F16L23_08 F16L23_10 F16L23_14 F16L23_16 F16L23_18 F16L23_22 覆盖12个领域

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