实用新型已授权

一种多重密封耐腐蚀超真空法兰

📄 申请号：CN202520126552.0 📄 发布日：2025/12/06

著录项目信息

申请日

2025-01-20

公开号

CN223708890U

公开日

2025-12-23

申请人

晶格(苏州)真空技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

F16L23_024

IPC 分类号

F16L23_024 , F16L23_18 , F16L58_18 ,

技术画像

所属领域

真空密封技术真空密封技术法兰连接结构耐腐蚀材料

应用场景

超真空设备, 半导体制造, 真空镀膜, 科研仪器, 化工设备

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摘要

本实用新型公开了一种多重密封耐腐蚀超真空法兰，包括四通连接件，所述四通连接件的一端通过法兰密封连接有多重密封结构，所述四通连接件的上端通过第一法兰件连接有真空监测表，所述四通连接件的另一端安装有真空抽管，所述真空抽管的上端通过第二法兰件密封连接有真空泵，所述真空抽管的侧表面安装有第三法兰件，所述四通连接件的下端安装有第四法兰件，所述第一法兰件、第二法兰件、第三法兰件和第四法兰件的外表面均设置有防腐镀锌涂层结构。本实用新型通过对法兰结构内部进行抽真空设计，使其具备良好的密封连接性能，同时对各个法兰件外表面和内表壁进行多层耐腐蚀设计保护，可有效抵御外界流体和气体带来的侵蚀，具备耐腐蚀性能好的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于腺嘌呤的花菁探针及其制备方法和应用(生物医学成像/细胞代谢动态监测/遗传,基因检测和药物筛选/)

当前第 / 件

一种高强度可拆卸真空法兰

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