发明专利已授权

用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统

📄 申请号：CN202110441671.1 📄 发布日：2026/08/05

著录项目信息

申请日

2021-04-23

公开号

CN113179574A

公开日

2021-07-27

申请人

山东大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05H1_00

IPC 分类号

H05H1_00

技术画像

所属领域

等离子体诊断技术等离子体诊断技术朗缪尔探针多通道电学测量系统

应用场景

等离子体工艺监测, 半导体制造, 材料表面处理, 聚变装置诊断, 航空航天等离子体诊断

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摘要

本公开提供了一种用于标定区域等离子体分布的多通道朗缪尔探针诊断系统，包括：多个朗缪尔探针、多通道电流采集电路和处理器，各个朗缪尔探针的探测端设置在待测区域的不同位置，朗缪尔探针与电流采集电路连接，处理器与电流采集电路连接；处理器根据接收到的各个朗缪尔探针的电流信号得到等离子体参数，根据得到的等离子体参数以及各个朗缪尔探针的位置信息得到区域等离子体分布；多个并行通道的设计可以获得真正的等离子体实时分布，弥补了现有技术通过通道切换来实现多路采集的缺点，同时通过对多路数据的并行处理，得到了更准确的等离子体分布结果。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种VHF观测系统、阵列单机系统及方法

当前第 / 件

一种在轨除污朗缪尔探针、系统及方法

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