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专利详情
实用新型
已授权
一种用于芯片加工的烘干装置
📄 申请号:CN202323210098.7
📄 发布日:2025/12/03
著录项目信息
申请日
2023-11-23
公开号
CN221444720U
公开日
2024-07-30
申请人
马鞍山洪富电子科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
F26B11_18
IPC 分类号
F26B11_18
,
F26B21_00
,
F26B25_00
,
F26B25_02
,
F26B25_18
,
B01D46_12
,
技术画像
所属领域
烘干装置
半导体制造设备
芯片加工
烘干设备
烘干装置
应用场景
芯片制造, 晶圆加工, 半导体封装, 集成电路生产
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摘要
本实用新型公开了一种用于芯片加工的烘干装置,涉及芯片加工技术领域,包括烘干箱体、承载盘以及设置在烘干箱体上的除杂组件,其中:所述烘干箱体的内部转动安装有转轴,所述承载盘设置在转轴上,并且转轴与承载盘同轴设置;所述承载盘的顶部固定设置有多个夹持件;所述夹持件包括均活动设置在承载盘上的两个活动夹板,两个活动夹板之间形成大小可调的夹持区。本实用新型通过承载盘和多个夹持件的设置,多个夹持件可以将多个芯片进行托载夹持,使得夹持后的芯片两侧都能够受到热风的接触,快速的将芯片进行烘干,同时承载盘可以带动多个芯片进行转动,也即可以使得多个芯片受热均匀,可以更好的被烘干处理。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种芯片烧录用除尘机构
当前第 / 件
一种用于控制烧录的控制方法及相应的自动芯片烧录设备
同领域国内专利 · IPC: (F26B11_18)
F26B11_00
F26B11_02
F26B11_04
F26B11_06
F26B11_08
F26B11_10
F26B11_12
F26B11_14
F26B11_16
F26B11_18
F26B11_20
F26B11_22
覆盖
12
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