发明专利 已授权

法珀干涉动态压力传感装置及其制作方法

📄 申请号:CN202310052772.9 📄 发布日:2026/07/20

著录项目信息

申请日
2023-02-03
公开号
CN115790955B
公开日
2023-04-21
申请人
深圳市鸿途智远信息咨询服务有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

动态压力测量, 工业自动化, 航空航天, 汽车电子, 科研实验

摘要

本发明涉及法布里‑珀罗干涉光纤传感器技术领域,特别是涉及法珀干涉动态压力传感装置及其制作方法,包括第三柱体,第三柱体内设置有第三准直套管,第三准直套管内同轴设置有传感光纤,传感光纤的顶端穿出第三柱体,第三准直套管的底端开设有凹槽,传感光纤的底端设置为反射镜面且伸入凹槽内,凹槽的底端固接有第三形变反射件,第三形变反射件与传感光纤的底端正对设置,凹槽与第三形变反射件形成光学微腔;第三柱体的一侧设置有稳定机构,稳定机构与光学微腔连通。本发明在检测压力时,当外界环境的静态背景压力发生改变,光学微腔的内外压力差(压强差)不变,确保本发明的工作点稳定,本发明的性能不受影响。
权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

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G01L11_00 G01L11_02 覆盖2个领域

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