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发明专利
已授权
一种基于微波等离子体的温室气体处理装置
📄 申请号:CN202411574576.9
📄 发布日:2025/11/16
著录项目信息
申请日
2024-11-06
公开号
CN119075578B
公开日
2025-02-14
申请人
武汉工程大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
B01D53_00
IPC 分类号
B01D53_00
,
B01D53_32
,
技术画像
所属领域
微波等离子体技术
微波等离子体技术
温室气体处理
气体转化
应用场景
温室气体减排, 废气处理, 碳中和, 工业尾气治理
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摘要
本发明提供一种基于微波等离子体的温室气体处理装置及方法,包括电磁波输入和传输系统、微波耦合腔、进气系统和尾气处理系统;电磁波输入和传输系统包括两组微波磁控管和传输波导,传输波导与微波耦合腔连通;进气系统包括Ar输入管道,O2输入管道,SF6输入管道和三层式进气套管;三层式进气套管的侧方设有自动点火装置;尾气处理系统包括密闭腔、废气输送管道和喷淋装置;微波耦合腔通过功率耦合的方式不仅能提高SF6的电离效果,提高微波功率的利用率,还能提高处理大流量SF6的能力;进气装置采用三层套管,在提高处理SF6流量的同时,可以有效减少电离出的氟离子对进气管的刻蚀,提高持续工作时间。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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