实用新型已授权

一种用于硅片的表面清洗装置

📄 申请号：CN202022464123.4 📄 发布日：2025/11/13

著录项目信息

申请日

2020-10-30

公开号

CN214022332U

公开日

2021-08-24

申请人

江西钛创新能源科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B3_12

IPC 分类号

B08B3_12 , B08B13_00 , F26B21_00 ,

技术画像

所属领域

表面清洗装置硅片加工半导体清洗设备表面清洗技术清洗装置表面清洗装置

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 集成电路工艺

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摘要

本实用新型涉及硅片加工领域，具体为一种用于硅片的表面清洗装置，包括清洗槽，所述清洗槽的上侧安装有顶板，所述顶板的底部四角处均通过连杆和清洗槽的外壁固定连接。本实用新型通过放置框连通硅片在清洗槽内移动，同时通过超声波发生器产生超声波带动水分子跳动，达到对硅片表面清洗的效果，提升了清洗的效率，使得清洗的更加彻底，较为实用，适合广泛推广与使用。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种太阳能电池丝网印刷浆料用多功能铲刀

当前第 / 件

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