发明专利已授权

一种匀胶机

📄 申请号：CN201710560133.8 📄 发布日：2026/07/15

著录项目信息

申请日

2017-07-11

公开号

CN107159527A

公开日

2017-09-15

申请人

南通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

B05C11_08

IPC 分类号

B05C11_08 , B05C13_02 ,

技术画像

所属领域

旋转涂布设备旋转涂布设备薄膜涂布技术半导体制造设备

应用场景

半导体制造, 光刻工艺, 太阳能电池, 光学元件涂膜, 微机电系统

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摘要

本发明公开了一种匀胶机，包括工作箱，工作箱的一侧设有控制面板，工作箱的顶部设有放置箱，工作箱的内底部设有电机，电机的输出端连接有转轴，转轴远离电机的一端依次贯穿工作箱和放置箱的侧壁，且固定连接有转盘，转盘的顶部设有滑口，滑口内设有第一滑块，所述转轴上设有与滑口连通的第一安装槽。本发明结构简单，将基片置于两个第二滑块之间，按动第二压块，使第一压块上的第一卡齿与第二卡齿分离，然后向下滑动滑动环，通过连接线带动第一滑块滑动，将基片固定，采用机械夹持来替代吸力固定基片，避免多余的胶液吸入气孔，堵塞气孔，减少设备的故障率，并且机械式固定基片的方式使用也较为便捷。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种修复齿面微接触疲劳损伤的方法及修复装置

当前第 / 件

一种工字线盘辅助安装、拆卸的搬运车

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