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发明专利
已授权
一种高密封性抽真空装置
📄 申请号:CN202111199162.9
📄 发布日:2026/06/23
著录项目信息
申请日
2021-10-14
申请人
南京工程学院
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
F04B39_14
IPC 分类号
F04B39_14
,
F25B45_00
,
技术画像
所属领域
真空泵
真空泵
密封结构
真空技术
应用场景
真空包装, 真空干燥, 真空镀膜, 半导体制造, 实验室设备
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摘要
本发明公开了高密封性抽真空装置,包括主真空管路,在主真空管路的其中一端同心设有用于与待抽真空端导通的锥形体,并在设有锥形体一端的外部同心套设有螺母,在主真空管路内设有用于锥形体在真空环境下沿主真空管路轴线方向移动的滑动导向机构,以及用于驱动滑动导向机构的活动部分来回移动的驱动机构;在滑动导向机构与驱动机构之间设置用于进行主真空管路封堵以在抽真空时形成真空腔体的隔板;驱动机构通过磁体间的相斥和相吸驱动滑动导向机构在真空腔体内的移动,在真空腔体上设置与外部的真空泵连通的连通管路;本发明利用磁极的相吸、相斥原理,实现在密闭空间的锥形体操控,在抽真空完毕后拆卸时,不会漏气,密封性能好,提高抽真空质量。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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📋 交易方式:
委托待转让
📌 交易状态:
在售
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📋 项目申报:
未申报
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