发明专利已授权

一种柔性共面波导的制造方法

📄 申请号：CN201310583489.5 📄 发布日：2025/10/13

著录项目信息

申请日

2013-11-20

公开号

CN103840243B

公开日

2016-03-02

申请人

南京邮电大学南通研究院有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01P11_00

IPC 分类号

H01P11_00

技术画像

所属领域

微波传输线微波传输线柔性电子微波器件制造

应用场景

通信系统, 射频电路, 柔性电子设备, 微波集成电路, 天线系统

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摘要

本发明是一种柔性共面波导制造方法，通过选择合适的柔性介质材料，在介质材料上通过薄膜沉积、光刻和腐蚀的方法制造柔性共面波导，从而实现柔性射频系统所需的柔性传输线。柔性共面波导将应用于柔性微波器件、柔性微波电路及柔性微波系统中。选用聚酰亚胺柔性衬底材料，采用薄膜沉积设备在衬底上沉积金属薄膜，对金属薄膜进行光刻并腐蚀出所需要的共面波导图形，从而制造出柔性共面波导。使用该方法制造出的柔性共面波导具有尺寸小、集成度高、性能可靠的优点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20190101

?? 专利权的转移：

20180209

⏳ 专利实施许可合同备案的注销：

20161214

⏳ 专利实施许可合同备案的生效：

20160302

✅ 授权

20140702

?? 实质审查的生效：

20140604

📄 公开

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