一种五氟化磷气体的制备方法

著 录 项 目：

应用场景：半导体制造中的蚀刻工艺;高纯度电子气体生产;氟化工领域原料制备

摘     要：本发明公开了一种五氟化磷气体的制备方法，包括以下步骤：（1）将含磷化合物与氟化氢与有机酸酐脱水剂反应生成六氟磷酸溶液；（2）将所述六氟磷酸溶液加热分解成气态的氟化氢和五氟化磷；本发明除水效率高、工序简单，易于连续化生产。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注

• 申请号	专利名称	发布日期
  2018108417340	【发明】铝业减渣之抛光液回收农用复合肥的回收系统与方法	2025/09/10
  2012103558862	【发明】利用自组装技术制备磷酸锆柱撑材料的方法	2025/09/09
  2019109026137	【发明】具有花状结构的铁掺杂磷化钴微米球电极材料及其制备方法和应用	2025/09/08
  2018101570655	【发明】一种复合电极的光化学制备方法	2025/09/02
  2019104098181	【发明】一种提高焦磷酸亚锡溶解度的方法	2025/08/28
  2021115156582	【发明】一种Li3PO4基复合固态电解质及其制备方法和应用	2025/07/09
  2017101450165	【发明】一种磷酸亚铁锂的制备方法	2025/06/06
  2023108990314	【发明】基于离子掺杂的高传输速率的磷酸铁锂正极材料制备方法	2025/05/29
  202111050697X	【发明】一种二氟磷酸锂的制备方法	2025/09/19
  2019109761462	【发明】一种废旧动力锂离子电池中回收再生磷酸铁锂的方法	2025/05/08