实用新型已授权

一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机

📄 申请号：CN202123097834.3 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2021-12-10

公开号

CN216937582U

公开日

2022-07-12

申请人

扬州伟业创新科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B08B13_00

IPC 分类号

B08B13_00 , F25D31_00 ,

技术画像

所属领域

硅片清洗设备硅片清洗设备半导体湿法清洗工艺自动控制技术

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 光伏硅片加工, 电子器件制造

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摘要

本实用新型公开了硅片清洗技术领域的一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，硅片清洗机本体右侧壁上方设有安装板，安装板左侧壁开设有滑槽，滑槽内滑动连接设有滑块，滑块左侧壁设有调节组件，滑块左侧转动连接设有喷盘，喷盘底部设有多组出风嘴，活动杆一端贯穿滑槽内前侧壁与外部设有的活动板相连接，活动杆外壁套接设有弹簧硅片清洗机本体前侧壁设有固定板，固定板左侧壁设有电机，电机输出端连接设有凸轮，凸轮凸起处与活动板前侧壁相搭接，本实用在电机的作用下带动凸轮进行转动，凸轮间接性对活动板进行敲打，在弹簧的配合下能够带动滑块在滑槽内往复运动，从而能够更好的对硅片进行冷却。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种带有输出装置的全自动硅片插片机

当前第 / 件

一种自动硅片清洗机挂篮挂钩装置

同领域国内专利 · IPC: (B08B13_00)

B08B13_00 覆盖1个领域

¥2000.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：53 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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