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| 专利/申请号： | CN202123097834.3 | 专利名称： | 一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机 |
| 申请日： | 2021-12-10 | 申请/专利权人 | 扬州伟业创新科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省扬州市高邮高新技术产业开发区纬十九路 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | B08B13/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2022-07-12 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN216937582U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 2 | 所属领域： | 半导体制造设备 清洗技术 环保工程 自动化控制专利转让搜索 |
应用场景：集成电路生产线中的晶圆预处理环节;光伏产业硅基材料清洁处理;半导体代工工厂批量化生产;高洁净度要求的精密制造场景;节能减排导向的工业升级改造
摘 要：本实用新型公开了硅片清洗技术领域的一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机，包括硅片清洗机本体，硅片清洗机本体右侧壁上方设有安装板，安装板左侧壁开设有滑槽，滑槽内滑动连接设有滑块，滑块左侧壁设有调节组件，滑块左侧转动连接设有喷盘，喷盘底部设有多组出风嘴，活动杆一端贯穿滑槽内前侧壁与外部设有的活动板相连接，活动杆外壁套接设有弹簧硅片清洗机本体前侧壁设有固定板，固定板左侧壁设有电机，电机输出端连接设有凸轮，凸轮凸起处与活动板前侧壁相搭接，本实用在电机的作用下带动凸轮进行转动，凸轮间接性对活动板进行敲打，在弹簧的配合下能够带动滑块在滑槽内往复运动，从而能够更好的对硅片进行冷却。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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