实用新型 已授权

一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机

📄 申请号:CN202123097834.3 📄 发布日:2026/04/02

著录项目信息

申请日
2021-12-10
公开号
CN216937582U
公开日
2022-07-12
申请人
扬州伟业创新科技有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

半导体制造, 晶圆清洗, 光伏硅片加工, 电子器件制造

摘要

本实用新型公开了硅片清洗技术领域的一种带有冷却功能的环保型全自动硅片清洗机,包括硅片清洗机本体,硅片清洗机本体右侧壁上方设有安装板,安装板左侧壁开设有滑槽,滑槽内滑动连接设有滑块,滑块左侧壁设有调节组件,滑块左侧转动连接设有喷盘,喷盘底部设有多组出风嘴,活动杆一端贯穿滑槽内前侧壁与外部设有的活动板相连接,活动杆外壁套接设有弹簧硅片清洗机本体前侧壁设有固定板,固定板左侧壁设有电机,电机输出端连接设有凸轮,凸轮凸起处与活动板前侧壁相搭接,本实用在电机的作用下带动凸轮进行转动,凸轮间接性对活动板进行敲打,在弹簧的配合下能够带动滑块在滑槽内往复运动,从而能够更好的对硅片进行冷却。

常见问题

这项专利是否已经下证?

是的,该专利已下证,法律状态为“已下证”,公开号: CN216937582U

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该专利的转让价格是多少?

当前标价为 2000.0 元,不含过户费。支持议价,可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (B08B13_00)

B08B13_00 覆盖1个领域
¥2000.0 元
不含过户费

📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:77 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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