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| 专利/申请号： | CN202411625317.4 | 专利名称： | 一种晶圆磨削后的平面度检测装置 |
| 申请日： | 2024-11-14 | 申请/专利权人 | 无锡学院 |
| 专利类型： | 发明 | 地址： | 江苏省无锡市锡山区锡山大道333号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | 分类号： | G01B21/30 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2025-05-09 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN119124086B | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 3 | 所属领域： | 半导体制造设备 晶圆加工检测技术 精密测量仪器专利转让搜索 |
应用场景：集成电路生产线上的晶圆研磨后段质检工序;半导体代工厂的工艺控制环节;先进封装中的基板平整度验证
摘 要：本发明公开了一种晶圆磨削后的平面度检测装置，涉及平面度检测领域，解决了现有的平面度检测装置易造成晶圆崩边的问题，包括：装置底座与固定安装于装置底座顶部的移动台，移动台的移动端固定安装有底架，底架的顶部固定安装有放置座，装置底座的顶部固定安装有安装架，安装架的外侧固定安装有电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端固定安装有检测探头；还包括：定料机构，用于对放置座上的晶圆定位吸附，定料机构安装于放置座的内侧；本发明通过定料机构，能够对放置座上的晶圆固定在放置座上，便于移动台带动底架上的放置座在检测探头的下方作水平移动，解决晶圆的侧边出现碰撞的问题，从而达到了提高检测精确性与便于取料的效果。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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