实用新型已授权

一种高精度控制特气装置

📄 申请号：CN202323577549.0 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2023-12-27

公开号

CN222266756U

公开日

2024-12-31

申请人

诺森(苏州)实验室系统工程有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

B01F25_00

IPC 分类号

B01F25_00 , B01F35_71 , B01F35_88 , B01F23_10 , B01F101_23 ,

技术画像

所属领域

气体输送控制设备气体输送控制设备流体控制流量控制装置

应用场景

半导体制造, 电子工业, 工业气体输送, 气体配比系统, 特种气体供应

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摘要

本实用新型公开了一种高精度控制特气装置，包括底座，所述底座的上端固定连接有多个呈均匀分布的储气罐，所述底座的上端且位于储气罐的后部固定连接有支撑板，所述储气罐的背部设置有加气管，所述加气管与支撑板固定连接，所述支撑板的下端固定连接有下气泵，所述下气泵的下端设置有吸气管。本实用新型通过设计下气泵的作用，可将储气罐内部气体排入连接罐内部进行暂存，通过可移动的挡板的作用，可对连接罐内部存储空间进行调节使用，当气体充满连接罐时可通过移动板的移动使挡板接触接触开关对下气泵进行控制关闭，连接罐内部储气空间固定，使得气体在排出时可实现对气体排出量的精确控制。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20241231

✅ 授权

一种实验室用的新风装置

当前第 / 件

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