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| 专利/申请号： | CN202323577549.0 | 专利名称： | 一种高精度控制特气装置 |
| 申请日： | 2023-12-27 | 申请/专利权人 | 诺森(苏州)实验室系统工程有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 江苏省苏州市吴中区临湖镇浦庄和安路1066号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B01F25/00 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-12-31 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN222266756U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 26 | 所属领域： | 半导体制造设备 特种气体供应系统 精密流量控制专利转让搜索 |
应用场景：集成电路晶圆加工中的蚀刻工艺气体配送;光刻机配套的高纯惰性气体供给;化合物半导体材料生长环境的气体管控;液晶面板制造过程的掺杂剂精准注入;科研实验用微量反应气体定量供给
摘 要：本实用新型公开了一种高精度控制特气装置，包括底座，所述底座的上端固定连接有多个呈均匀分布的储气罐，所述底座的上端且位于储气罐的后部固定连接有支撑板，所述储气罐的背部设置有加气管，所述加气管与支撑板固定连接，所述支撑板的下端固定连接有下气泵，所述下气泵的下端设置有吸气管。本实用新型通过设计下气泵的作用，可将储气罐内部气体排入连接罐内部进行暂存，通过可移动的挡板的作用，可对连接罐内部存储空间进行调节使用，当气体充满连接罐时可通过移动板的移动使挡板接触接触开关对下气泵进行控制关闭，连接罐内部储气空间固定，使得气体在排出时可实现对气体排出量的精确控制。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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