发明专利已授权

一种真空泵气密性检测装置

📄 申请号：CN202210684322.7 📄 发布日：2026/04/24

著录项目信息

申请日

2022-06-17

公开号

CN114778028A

公开日

2022-07-22

申请人

南通柯瑞特机械制造有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G01M3_26

IPC 分类号

G01M3_26 , F04B51_00 ,

技术画像

所属领域

检测装置气密性检测真空检漏泄漏检测泵真空泵检测装置

应用场景

真空泵出厂检测, 真空泵维修维护, 半导体设备密封检测, 工业设备气密性检测

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摘要

本发明中公开了一种真空泵气密性检测装置，涉及真空泵技术领域；具体包括密封箱体和密封箱盖，所述密封箱盖的顶部固定安装有压力计和排空阀，所述密封箱体的一侧内壁安装有吸气三通电磁阀和排气三通电磁阀，且密封箱体的外侧固定安装有储气罐和消音器，所述储气罐的侧面安装有检测气管，且检测气管的另一端与吸气三通电磁阀一个端口连通。本发明中检测真空泵内部保持与储气罐相同的压力，持续保压进行第二次密封检测，检测合格后，排气三通电磁阀切换至与检测环境连通，利用检测真空泵将储气罐中气体抽出，平衡检测环境中的气压，利用两侧不同环境下的密封检测，提高气密性检测的精准性，且两种检测模式自由切换，提高气密检测的效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：49 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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