发明专利已授权

一种高效微波激励气体放电设备

📄 申请号：CN202111062269.9 📄 发布日：2026/03/13

著录项目信息

申请日

2021-09-10

公开号

CN113784494B

公开日

2025-06-20

申请人

湖北益职科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H05H1_46

IPC 分类号

H05H1_46

技术画像

所属领域

微波等离子体技术微波等离子体技术气体放电等离子体发生器

应用场景

半导体加工, 材料表面处理, 废气处理, 等离子体清洗, 光源照明

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摘要

本发明公布了一种高效微波激励气体放电设备的设计方案。本发明在设备中设置有可以切换状态的耦合结构。在点火时让耦合结构工作在弱耦合的第一状态，在非线性器件中形成谐振频率与微波源工作频率相同的强谐振并顺利点火，然后让耦合结构工作在几乎直通的第二状态，让所述微波源产生的微波几乎全部被非线性器件吸收，让设备高效率地工作。本发明可以被应用到各种气体和液体的消毒杀菌处理，高亮度长寿命的照明灯和微波等离子体火炬中。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250919

?? 专利权的转移：

20250620

✅ 授权

20211228

?? 实质审查的生效：

20211210

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