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实用新型
已授权
一种半导体生产加工用物料消洗装置
📄 申请号:CN202323266927.3
📄 发布日:2026/07/22
著录项目信息
申请日
2023-12-01
公开号
CN221414243U
公开日
2024-07-26
申请人
恒驰(辽宁)建设有限公司
法律状态
已下证
专利类型
实用新型
主分类号
B08B3_10
IPC 分类号
B08B3_10
技术画像
所属领域
半导体清洗技术
半导体清洗技术
半导体制造设备
清洗设备
应用场景
半导体生产, 晶圆清洗, 电子元器件清洗, 半导体材料清洗
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摘要
本实用新型属于半导体生产加工领域,尤其是一种半导体生产加工用物料清洗装置,包括下底座,所述下底座顶部两侧均固定连接有第一方块,第一方块转动安装有转动杆的一端,两个转动杆的另一端转动连接有第二方块,两个第二方块顶部固定连接有同一上底座,所述下底座固定连接有电机,电机的输出轴通过轴联器固定连接有转动轴,转动轴依次套接有凸轮与第一锥形齿轮,第一锥形齿轮左右均啮合有第二锥形齿轮,第二锥形齿轮套接有第一转轴的一端。本实用新型解决了现有的半导体生产加工用物料清洗装置不能对物料进行全面干净地清洗的问题,清洗时抖动幅度大,清洗效果佳,进而提高了物料清洗的质量与效率。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
一种纯水管道系统可重复使用的渗漏报警系统
当前第 / 件
一种用于铸造加工的便捷式管道清洗结构
同领域国内专利 · IPC: (B08B3_10)
B08B3_00
B08B3_02
B08B3_04
B08B3_06
B08B3_08
B08B3_10
B08B3_12
B08B3_14
覆盖
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