一种AZO溅射靶的制备方法

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摘     要：本发明公开一种AZO溅射靶的制备方法，包括以下步骤：将Al(NO3)3溶液加入纳米ZnO悬浮液中混合均匀，保持搅拌加入沉淀剂，待沉淀完全后进行静置陈化，沉淀物经反复洗涤、干燥、研磨、过筛制得AZO前驱体；将AZO前驱体3～5℃/min升温至100～200℃，保温24小时，再以3℃/min升温至400～600℃，保温3～5小时，即得Al2O3包覆ZnO的粉体；将包覆粉体进行成型烧结处理后制得AZO溅射靶。本发明有效的避免了Al2O3在烧结过程中的偏析，加速纳米ZnO在烧结过程中的致密度，有利于制备高电导、高透光率的AZO薄膜。

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

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